Магнетронное распыление
| Модель обрудования | Наибольший размер подложки, мм | Изготовитель |
|---|---|---|
|
Установка магнетронного распыления Краудион-М1-11/2 |
50 х 50 | ООО «ИОНТЕК-нано» (Россия) |
|
Установка магнетронного распыления Atis 500 |
60 х 48 | Изовак (Беларусь) |
|
Установка магнетронного распыления Atis - V |
60 х 48 | Изовак (Беларусь) |
|
Установка магнетронного распыления Краудион-М3-08/3 |
60 х 48 | ООО «ИОНТЕК-нано» (Россия) |
|
Установка магнетронного распыления STE MS150 |
Ø 150 | ЗАО «НТО» (Россия) |
|
Установка магнетронного распыления Краудион-М5-17/4-200 |
200 х 200 | ООО «ИОНТЕК-нано» (Россия) |
|
Установка магнетронного распыления STE MS900 |
Ø 200 | ЗАО «НТО» (Россия) |
