| Модель обрудования | Наибольший диаметр подложки, мм | Изготовитель |
|---|---|---|
|
Установка электронно-лучевого напыления STE EB 48 |
150 | ЗАО «НТО» (Россия) |
|
Установки электронно-лучевого напыления STE EB71 |
200 | ЗАО «НТО» (Россия) |