Электронно-лучевая литография
| Модель обрудования | Наибольший диаметр подложки, мм | Изготовитель |
|---|---|---|
|
Установка электронно-лучевой литографии CABL-9000C |
125 | CRESTEC (Япония) |
|
Установки электронно-лучевой литографии CABL-UH |
200 | CRESTEC (Япония) |
